برای ثابت نگه‌داشتن فشار داخل مخازن تحت خلأ زیاد استفاده از MFC مرسوم می‌باشد. چنانچه سرعت پمپ خلأ و سایر پارامترهای محفظه خلأ همچون دما و غیره ثابت باشد با اعمال نقطه کار مناسب و تنظیم دبی گاز ورودی می‌توان خلأ محفظه‌ها را کنترل نمود اما در صورتی که پارامترهای فیزیکی سامانه تحت خلأ و فرآیندهایی که داخل خلأ انجام می‌گیرند متغیر با زمان باشند دبی گاز ورودی نیز متناسب با شرایط به طور پیوسته باید تغییر نماید. در حال حاضر تقریبا در همه سامانه‌های موجود این کار توسط کاربران حرفه‌ای و به صورت دستی انجام می‌شود به این صورت که کاربر با استفاده از سامانه اندازه‌گیری خلأ مقدار خلأ را قرائت نموده و متناسب با آن و بر اساس تجربه قبلی مقدار دبی گاز را تغییر می‌دهد. سیستم ساخته شده توسط شرکت فیدار آزما می‌تواند مقدار خلأ را از انواع گیج‌های خلأ قرائت نموده و پس از محاسبه دبی لازم بر اساس الگوریتم‌های کنترلی هوشمند فرمان مناسب را به انواع مختلف کنترل‌کننده‌ها جرمی استاندارد اعمال نماید. همچنین این دستگاه قابلیت شناسایی خودکار انواع گیج‌های خلأ استاندارد را نیز دارا می‌باشد. لازم به ذکر است که این دستگاه مشابه داخلی نداشته و مشابه خارجی هم به صورت تجاری یافت نشده است. هسته اصلی دستگاه بخش نرم‌افزاری و کنترل هوشمند آن می‌باشد.